西森BST6600系列擴散硅壓力變送器，廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制領(lǐng)域，它是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散，制成應(yīng)變電阻、構(gòu)成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。那么它在實際應(yīng)用中有哪些技術(shù)特點呢？

    1、精度高擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體，無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復性和遲滯誤差很小。因此綜合表態(tài)精度很高。

    2、可靠性高擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級，膜片最大位移量在來微米數(shù)量級，且無機械磨損，無疲勞，無老化。平均無故障時間長，性能穩(wěn)定，可靠性高。

    3、靈敏度高擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍，它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無機械動件損耗，因而分辯率極高。

    4、頻響高由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計，使傳感器頻率響應(yīng)很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

    5、度性能好隨著集成工藝技術(shù)進步，擴散硅敏感膜的四個電阻一致性得到進一步提高，原始的手工補償已被激光調(diào)阻、計算機自動休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達10-5/℃數(shù)量級，工作溫度也大幅度提高。

    6、擴散硅壓力變送器的抗電擊穿性能好由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

    7、耐腐蝕性好由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔

    BST6600系列壓力變送器，采用金屬擴散硅傳感器，金屬的延展性、精度及各方面的綜合指標是很多其他類型傳感器無可比擬的。傳感器選用美國GE集團NOVA公司進口壓力傳感器或者MICROSENSOR公司合資壓力傳感器，產(chǎn)品由高精度傳感器和高集成化電子線路及不銹鋼外殼組成。廣泛應(yīng)用于空調(diào)設(shè)備、恒壓供水、自動化控制、空壓機、制冷設(shè)備、水處理系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)、工程機械、發(fā)酵罐過程檢測等。